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EnglishUse of x-ray reflectivity techniques to determine structural parameters of some silicide structures for microelectronics applications / Santucci S; la Cecilia AV; Phani AR; Alfonsetti R; Moccia G; De Biase M. - In: APPLIED PHYSICS LETTERS. - ISSN 0003-6951. - 76:1(2000), pp. 52-54.
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http://hdl.handle.net/11697/10335| Titolo: | Use of x-ray reflectivity techniques to determine structural parameters of some silicide structures for microelectronics applications |
| Autori interni: | SANTUCCI, Sandro |
| Data di pubblicazione: | 2000 |
| Rivista: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11697/10335 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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