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We report on a fast soft x-ray source consisting in a high temperature small diameter (4 mm) plasma column produced by electric discharge in a ceramic capillary. This source was developed to produce pulses of few hundred nanosecond duration for EUV lithography, x ray microscopy applications and also with the aim of developing a soft x ray amplifier. We obtained experimental results concerning the intensity and spectral analysis of the emitted x radiation pumped by a 30-40 kA, 100-200 ns, electric discharge at 1 Torr pressure in Ar gas. We refer also on the spectra obtained using CO2, as plasma medium, after the optimization of the discharge setup and electrical parameters.
Fast collisional capillary discharge source for soft x-ray production and applications
We report on a fast soft x-ray source consisting in a high temperature small diameter (4 mm) plasma column produced by electric discharge in a ceramic capillary. This source was developed to produce pulses of few hundred nanosecond duration for EUV lithography, x ray microscopy applications and also with the aim of developing a soft x ray amplifier. We obtained experimental results concerning the intensity and spectral analysis of the emitted x radiation pumped by a 30-40 kA, 100-200 ns, electric discharge at 1 Torr pressure in Ar gas. We refer also on the spectra obtained using CO2, as plasma medium, after the optimization of the discharge setup and electrical parameters.
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11697/11400
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2021-2023 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.
