Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric lithography / Ottaviano L; Bussolotti F; Piperno S; Rinaldi M; Santucci S; Flora F; Mezi L; Dunne P; Kaiser J; Reale A; Ritucci A; Zuppella P. - In: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - ISSN 0963-0252. - 17:2(2008), p. 024019.
Titolo: | Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric lithography |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2008 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11697/5108 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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