Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric lithography

Ottaviano, L; Bussolotti, F; Piperno, S; Rinaldi, M; Santucci, S; Flora, F; Mezi, L; Dunne, P; Kaiser, J; Reale, A; Ritucci, A; Zuppella, P

doi:10.1088/0963-0252/17/2/024019

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Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric lithography / Ottaviano L; Bussolotti F; Piperno S; Rinaldi M; Santucci S; Flora F; Mezi L; Dunne P; Kaiser J; Reale A; Ritucci A; Zuppella P. - In: PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. - ISSN 0963-0252. - 17:2(2008), p. 024019.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11697/5108

Titolo:	Fabrication of metallic micropatterns using table top extreme ultraviolet laser interferometric lithography
Autori interni:	SANTUCCI, Sandro OTTAVIANO, LUCA
Data di pubblicazione:	2008
Rivista:	PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
Handle:	http://hdl.handle.net/11697/5108
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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